电子公司就芯片用等离子体专利起诉竞争对手

一家提供半导体制造用等离子体系统的电子公司已在新罕布什尔州联邦法院对其竞争对手提起诉讼，指控该竞争对手侵犯了其四项涉及大气压等离子体系统的专利。涉案专利包括第9,406,485号“氩和氦等离子体装置及方法”、第10,032,609号“低温大气压等离子体应用”、第10,800,092号“用于清洁和活化金属的低温大气压等离子体”以及第11,518,082号“用于清洁和活化金属的低温大气压等离子体”。原文未披露案件的具体细节，如侵权行为的具体表现、原告的索赔金额以及被告的回应等。